計量論壇

近日，市場監管總局新批準二維鉻納米柵格標準物質、二維硅納米柵格標準物質、一維硅納米光柵標準物質3項國家一級標準物質，能夠同時滿足納米制造產業角度和長度校準需求，為新一代信息技術、新材料、生物制造、高端裝備等領域的納米制造提供精準“標尺”。

據介紹，二維鉻納米柵格標準物質突破性地采用分步沉積原子光刻技術，制備難度較大，可直接溯源到自然界量子化物理常數（鉻原子躍遷頻率），角度絕對準確性在0.001°量級。二維鉻納米柵格可應用于晶圓級原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡等集成電路微納檢測設備校準，也可應用于對超精密位移傳感器多種參數的光柵干涉法校準。

納米級角度標準物質的研制成功，實現了納米測量領域的扁平化計量，避免傳統逐級量值傳遞方式造成的誤差累積放大，能夠通過在線校準直接將高精度計量數據直接傳遞到企業計量現場，為我國納米制造產業高質量發展提供有力支撐。

據悉，市場監管總局將持續強化納米測量領域標準物質研制應用，進一步解決納米制造“測不了、測不全、測不準”問題，為筑牢新興產業和未來產業技術基礎提供支撐保障。（記者史玉成）