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標(biāo)題: 干涉式三維表面形貌測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)規(guī)范征求意見稿 [打印本頁]
作者: text    時(shí)間: 2023-11-15 15:00
標(biāo)題: 干涉式三維表面形貌測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)規(guī)范征求意見稿
干涉式三維表面形貌測(cè)量?jī)x基于雙光束干涉的原理，經(jīng)樣品表面反射回的參考光與測(cè)量光形成干涉條紋，并經(jīng)由CCD采集，經(jīng)過算法重構(gòu)獲得表面形貌，在垂直方向上可以達(dá)到亞納米級(jí)的分辨力，其結(jié)構(gòu)示意圖見圖1。
(, 下載次數(shù): 207)
作者: 長(zhǎng)度室    時(shí)間: 2023-11-16 08:29
這是中圖那款光學(xué)3D表面輪廓儀的不。



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