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標(biāo)題: 晶圓級(jí)臺(tái)階高度凹槽深度標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)規(guī)范征求意見稿 [打印本頁(yè)]
作者: text    時(shí)間: 2023-11-15 14:58
標(biāo)題: 晶圓級(jí)臺(tái)階高度凹槽深度標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)規(guī)范征求意見稿
晶圓級(jí)臺(tái)階高度/凹槽深度標(biāo)準(zhǔn)片（以下簡(jiǎn)稱標(biāo)準(zhǔn)片）是用來校準(zhǔn)微電子集成電路領(lǐng)域微納表面形貌測(cè)量?jī)x的標(biāo)準(zhǔn)器（見圖1）。其基底為硅晶片，通過對(duì)其表面氧化膜刻蝕得到臺(tái)階結(jié)構(gòu)，可適應(yīng)于接觸或非接觸式的各類表面形貌顯微測(cè)量裝置。特征結(jié)構(gòu)位于標(biāo)準(zhǔn)片的中心，可通過輔助圖形幫助快速定位。



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