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標題: GB/T 19922-2005硅片局部平整度非接觸式標準測試方法 [打印本頁]

作者: 樹林 時間: 2008-5-3 21:25
標題: GB/T 19922-2005硅片局部平整度非接觸式標準測試方法
【標準編號】 GB/T 19922-2005
【標準名稱】硅片局部平整度非接觸式標準測試方法
【英文名稱】 Standard test methods for measuring site flatness on silicon wafers by noncontact scanning
【發(fā)布單位】中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局; 中國國家標準化管理委員會
【發(fā)布日期】 2005-9-19
【實施日期】 2006-4-1
【開本頁數(shù) 】 9P
【引用標準】 GB/T 14264; ASTMF 1530-94
【起草單位】洛陽單晶硅有限責任公司; 中國有色金屬工業(yè)標準質(zhì)量研究所
【起草人】史舸; 蔣建國; 陳興邦; 賀東江; 王文; 鄧德翼

BZ002033376.pdf

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