計量論壇

標題: 一維線紋激光比長測量裝置及其關(guān)鍵技術(shù) [打印本頁]

作者: 八一八 時間: 2023-2-20 13:24
標題: 一維線紋激光比長測量裝置及其關(guān)鍵技術(shù)
王理1楊璐1李文慧2肖克1孫雙花2
1. 湖南省計量檢測研究院2. 中國計量科學研究院
摘要：介紹了幾何量測量領(lǐng)域中一維線紋激光比長測量關(guān)鍵技術(shù)和裝置的研究成果，涉及了國內(nèi)外相關(guān)計量技術(shù)機構(gòu)在一維線紋方面的測量能力和范圍、裝置的基本組成及其工作原理，以及激光干涉法測長和光電顯微鏡法自動對焦實現(xiàn)線紋刻線快速瞄準等方面的內(nèi)容。詳細闡述了我國一維線紋激光比長測量裝置的研究現(xiàn)狀，重點分析該裝置所應用的關(guān)鍵技術(shù)的特點，以及目前的測量水平和能力。根據(jù)目前我國一維線紋測量的技術(shù)發(fā)展狀況，從線紋量值溯源和裝備制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展兩個角度討論了一維線紋激光比長測量裝置的應用前景。

一維線紋激光比長測量裝置及其關(guān)鍵技術(shù)_王理.pdf

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