計(jì)量論壇

標(biāo)題: 新型一等移相量塊干涉儀的研制 [打印本頁(yè)]

作者: 八一八 時(shí)間: 2018-1-14 21:34
標(biāo)題: 新型一等移相量塊干涉儀的研制
張旭東1,劉香斌1,王世婕2,王振華2,吳月艷1
1.中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院, 北京 100029
2.內(nèi)蒙古自治區(qū)計(jì)量測(cè)試研究院, 內(nèi)蒙古呼和浩特 010000
摘要研制了一臺(tái)用于0.5～100 mm量塊測(cè)量的新型移相量塊干涉儀,分別以波長(zhǎng)為633 nm和543 nm的兩臺(tái)穩(wěn)頻激光器作為測(cè)量光源,通過一根單模光纖引入到干涉儀內(nèi)。高精密移相器實(shí)現(xiàn)5步移相干涉測(cè)量,CCD相機(jī)采集干涉條紋并計(jì)算干涉條紋小數(shù),被測(cè)量塊長(zhǎng)度采用多波長(zhǎng)的小數(shù)重合法計(jì)算。移相量塊干涉儀的測(cè)量不確定度達(dá)到U=0.015 μm+0.07×10[sup]-6[/sup]L(L為量塊長(zhǎng)度,mm)。

新型一等移相量塊干涉儀的研制.pdf

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作者: 王大鵬 時(shí)間: 2018-1-18 17:21
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