計(jì)量論壇

標(biāo)題: 白光干涉儀的工作原理和測量應(yīng)用 [打印本頁]

作者: 清楓尚 時(shí)間: 2017-12-4 17:41
標(biāo)題: 白光干涉儀的工作原理和測量應(yīng)用
　　白光干涉儀目前在3D檢測領(lǐng)域是精度最高的測量儀器之一，在同等系統(tǒng)放大倍率下檢測精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，在一些納米級(jí)和亞納米級(jí)的超精密加工領(lǐng)域，除了白光干涉儀，其它的儀器無法達(dá)到其加工精度要求。

光學(xué)顯微干涉測量的基本原理：
　　光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào)，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
白光干涉儀的測量應(yīng)用：
　　以測量單刻線臺(tái)階為例，在檢查儀器的各線路接頭都準(zhǔn)確插入對(duì)應(yīng)插孔后，開啟儀器電源開關(guān)，啟動(dòng)計(jì)算機(jī)，將單刻線臺(tái)階工件放置在載物臺(tái)中間位置，先手動(dòng)調(diào)整載物臺(tái)大概位置，對(duì)準(zhǔn)白光干涉儀目鏡的下方。

　　在計(jì)算機(jī)上打開SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀測量軟件，在軟件界面上設(shè)置好目鏡下行的最低點(diǎn)，再微調(diào)鏡頭與被測單刻線臺(tái)階表面的距離，調(diào)整到計(jì)算機(jī)屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳，此時(shí)設(shè)置好要掃描的距離。按開始按鈕，光學(xué)3D表面輪廓儀可自動(dòng)進(jìn)行掃描測量，測量完成后，軟件自動(dòng)生成3D圖像，測量人員可以對(duì)3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)分析，獲得被測器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、3D參數(shù)。

　　光學(xué)3D表面輪廓儀具有測量精度高、操作便捷、功能全面、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個(gè)精密器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高效率檢測。光學(xué)3D表面輪廓儀獨(dú)有的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

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