計量論壇

量子電阻基準能夠滿足重大科研課題對電阻精確測量的需求。記者13日從中國計量科學研究院獲悉，該院自主研制的單個量子化霍爾器件，結束了我國電阻基準所用標準器件依賴國外進口的現狀，為我國航天航空、國防工業以及精密儀器的發展提供了關鍵技術保障。

課題負責人，中國計量科學研究院李勁勁研究員接受科技日報記者采訪時說：“我國雖然已建立國際先進的量子電阻基準，但基準必不可少的核心器件仍依賴進口。這無疑是我們發展的瓶頸。”

為解決這一“卡脖子”問題，李勁勁帶領中國計量科學研究院“量子器件”創新團隊，在國家科技支撐課題“用于計量的微納集成器件關鍵技術研究”的支持下，依托該院微納加工平臺，開展了電阻基準用量子化霍爾器件的研制。經過6年的攻關，成功實現了“單個量子化霍爾器件”“量子化霍爾陣列器件”等多種微納量子器件和集成器件的自主研制。

“單個量子霍爾器件能夠取代國際計量局標準樣品，用于我國量子電阻國家基準系統進行電阻量值傳遞、國際比對等任務。而通過霍爾陣列我們可以獲得任意整數阻值的電阻。” 李勁勁說。課題組在國內首次實現了可以產生1 kΩ和10 kΩ整數電阻值的量子化霍爾陣列器件，使我國成為國際上少數掌握該技術的國家之一。（來源：《科技日報》4月14日 第三版 作者：林莉君 陳杭杭）