測量軟件的主要功能：
執行測量機的運動控制和計算，實現采點并獲得采點結果；
對采點結果進行計算處理，提交所需要的測量結果；
提供用戶所需要的各種功能及操作接口界面。
隨著IT技術的發展，測量軟件日新月異，在測量機中的作用越來越重要。特別是與CAD/CAM接合，實現無圖紙制造，已成為測量軟件發展的方向。實際上，測量軟件決定了測量機的測量功能：能測什么？怎樣測量？怎樣提交測量報告？……其實,判斷測量機的新舊，就看測量軟件。
測頭
CMM最主要的附件就是采樣（點）設備----測頭，選擇合適測頭設備是實現測量的必要條件。
按工作方式可分為結觸式和非接觸式（如照相、紅外、激光）。常見的是接觸式測頭。除少數公司外，大部分公司均采用RENISHAW公司生產的測頭。
按用途可分為觸發測頭和掃描測頭，觸發測頭是最常用測頭，主要用于各種測量；掃描測頭主要用于連續形狀掃描。
環境要求
不同的CMM對環境的要求不同，為了保證CMM正常工作和測量精度可靠，環境條件非常重要。一般對溫度、濕度、地基防振、壓縮空氣、電源等都有具體的要求。
維護保養
CMM在日常使用維護方面要做到：干凈、干燥、常開機、定期校正精度，就可大大降低故障率，延長使用壽命，保證精度準確。
干凈： 經常保持測量房間干凈，機床工作臺及外露的道軌干凈（一般用汽油、無水乙醇或專用清潔劑擦拭）；
干燥： 潮濕容易引起金屬物銹蝕，電氣部分老化等，應使用除濕設備來保證；
常開機： CMM與其它設備一樣，均應經常加電開機，使之處于運行狀態，即使沒有檢測任務，也應每天開機一段時間。常期不開機，系統很容易發生故障；
定期校正： 與其它計量儀器一樣，CMM測量精度應定期檢測、校正，這樣才能保證測量精度準確、有效。