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計(jì)量論壇

標(biāo)題: 新型一等大量塊標(biāo)準(zhǔn)裝置的研制 [打印本頁]
作者: 斤斤計(jì)較    時(shí)間: 2015-5-11 15:18
標(biāo)題: 新型一等大量塊標(biāo)準(zhǔn)裝置的研制
張旭東,劉香斌,吳月艷
中國計(jì)量科學(xué)研究院, 北京 100029
摘要 采用多波長干涉法實(shí)現(xiàn)125～1000 mm量塊的高精度測量。633 nm、543 nm和612 nm 3種激光波長通過單根光纖引入到一臺泰曼-格林型干涉儀中,采用小數(shù)重合法進(jìn)行量塊長度測量。改進(jìn)的Edlen公式用于激光波長修正,干涉條紋小數(shù)采用5步移相法計(jì)算,專用的測量軟件完成量塊的自動測量。對測量裝置進(jìn)行了大量的測量實(shí)驗(yàn),測量不確定度為U=0.02 μm+ 0.1×10- 6L(k=3)。



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