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計量論壇

標(biāo)題: 《壓阻真空計校準(zhǔn)規(guī)范》征求意見稿 [打印本頁]

作者: 醬里個醬 時間: 2014-12-17 18:37
標(biāo)題: 《壓阻真空計校準(zhǔn)規(guī)范》征求意見稿
一、任務(wù)來源
經(jīng)全國壓力計量技術(shù)委員會向國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局申報，由中國計量科學(xué)研究院、江蘇省計量科學(xué)研究院、成都國光電氣股份有限公司制定本校準(zhǔn)規(guī)范。國家質(zhì)檢總局已于2013年4月通過審定并批準(zhǔn)立項，以“國質(zhì)檢量［2013］101號”文正式下達(dá)制訂任務(wù)。
二、校準(zhǔn)規(guī)范制定的必要性
目前與壓阻真空計有關(guān)的現(xiàn)行有效的兩個技術(shù)文件是JJG 932-1998《壓阻真空計檢定規(guī)程》和JB/T 10553-2006《真空計擴(kuò)散硅壓阻真空計》。JJG 932-1988規(guī)程于1998年制定，距今已有14年時間。同時考慮到實際工作的需要，需要對該規(guī)程進(jìn)行修訂。新修訂要求制定新的校準(zhǔn)規(guī)范，而不是修訂原規(guī)程進(jìn)而制定新規(guī)程。
JJG-932中規(guī)定壓阻真空計需要在（102～105）Pa范圍內(nèi)進(jìn)行檢定，但是要求在（103～105）Pa范圍內(nèi)，其相對示值誤差不超過20%，即為合格。該做法不甚合理，因判定依據(jù)的測量點不是全部測量點，如此情況下，非判定點即不需要測量。另外，行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)中要求儀器的各點精度為滿量程的0.5%，而規(guī)程中要求的精度為測量點的20%，二者不匹配，不利于實際工作的進(jìn)行。
壓阻真空計，一般只作為工作用計量器具，且不屬于強(qiáng)制檢定的范圍。在使用中，也不需要對其進(jìn)行評級。用戶可以根據(jù)需要來選擇使用。因此，本項目希望在JJG-932的基礎(chǔ)上，編寫相應(yīng)的校準(zhǔn)規(guī)范，以滿足壓阻真空計在使用中的需求。
三、制定規(guī)范的簡要過程
3.1 調(diào)研情況
3.1.1 生產(chǎn)情況
目前國內(nèi)主要有成都國光電氣股份有限公司，成都正華電子儀器有限公司，北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責(zé)任公司等，年產(chǎn)量在100臺件以上。國外主要有：Inficon公司、Pfeiffer公司、Leybold公司、Hastings公司等，在中國的年銷售量在200臺件以上。
3.1.2 使用情況
壓阻真空規(guī)一般應(yīng)用在航空、電子、造紙等行業(yè)。
3.2 主要內(nèi)容說明
3.2.1 測量范圍
本校準(zhǔn)規(guī)范規(guī)定的測量范圍是100Pa~100kPa，測量范圍的下限的確定主要從兩方面考慮：一是滿足不確定度要求，二是滿足使用要求。各個廠家生產(chǎn)的壓阻真空規(guī)測量下限通常在100Pa左右，取更低的測量范圍，意義不大。
3.2.3 標(biāo)準(zhǔn)裝置
在本校準(zhǔn)規(guī)范中，測量標(biāo)準(zhǔn)裝置推薦采用比較法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置，沒有推薦采用其他的標(biāo)準(zhǔn)裝置。主要因為比較法校準(zhǔn)裝置的指標(biāo)比較適合于壓阻真空規(guī)的校準(zhǔn)。另外靜態(tài)膨脹系統(tǒng)目前國內(nèi)使用者少，而且有向比較法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置改造傾向。
3.2.4 標(biāo)準(zhǔn)裝置的不確定度要求
標(biāo)準(zhǔn)裝置的不確定度建議為Ur=(1.0%~0.15%) (k=2)，主要是考慮到目前的裝置基本能夠達(dá)到要求，且滿足壓阻真空計的校準(zhǔn)條件。
3.2.5 安裝
為避免校準(zhǔn)時的安裝位置與使用時安裝位置不同而產(chǎn)生系統(tǒng)差，校準(zhǔn)過程中，盡量按照客戶要求進(jìn)行。如無特殊要求，建議在證書中給出具體安裝位置。

中國計量科學(xué)研究院

壓阻真空計校準(zhǔn)規(guī)范

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