1引言
高性能激光干涉儀具有快速、高準確測量的優點,是校準數字機床、坐標測量機及其它定位裝置精度及線性指標最常用的標準儀器,作者所在單位使用的是英國RENISHAW公司生產的ML10激光干涉儀,具有性能穩定,使用方便等特點。
通過較長時間使用,作者認為測量人員除了要考慮環境、溫度、原理等影響測量的常規因素外,掌握一些激光干涉儀的使用技巧會使測量互作事半功倍。