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標題:
工作平晶平面度測量不確定度評定
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作者:
兌水
時間:
2008-1-26 14:46
標題:
工作平晶平面度測量不確定度評定
劉麗娟
湖南省計量測試技術(shù)研究所，長沙410004
摘 要:本文對JJG28-2000《平晶》中以等厚干涉法檢定工作平晶(D30mm-l00mm)平面度的方法進行了分析、評定，得出了平面度的測量結(jié)果不確定度。
關(guān)鍵詞:工作平晶 平面度 等厚干涉法 不確定度 行業(yè)標準 評定
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