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計(jì)量論壇

標(biāo)題: 求教平面度的測量 [打印本頁]
作者: renkai    時(shí)間: 2013-5-23 18:39
標(biāo)題: 求教平面度的測量
請(qǐng)問不大于0.5μm的平面度該用什么方法測量？
作者: yj407    時(shí)間: 2013-5-23 20:29
被測面有多大？是什么樣子的？
作者: xxboxx    時(shí)間: 2013-6-18 08:28
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作者: dingsen    時(shí)間: 2013-7-18 07:04
精度這么高啊，也就只有平晶了
作者: clairezhang    時(shí)間: 2013-7-26 10:26
超過100mm量程的不用平晶的話可以用什么？好像是鋼球什么的吧
作者: Jamque    時(shí)間: 2013-9-27 15:21
什么樣的工件？多大尺寸？如果是圓晶硅片類產(chǎn)品，可以用基于電容傳感器的專用量儀，測量范圍在1000um，測量平面度時(shí)測量精度在+/-0.05um，重復(fù)精度0.03um
作者: zpzjl    時(shí)間: 2013-10-17 10:37
三坐標(biāo) 精度是達(dá)不到的



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