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計量論壇
標題:
2m比長儀納米級高精度刻線自動瞄準系統
[打印本頁]
作者:
八一八
時間:
2012-11-23 09:41
標題:
2m比長儀納米級高精度刻線自動瞄準系統
摘要：闡述了2m比長儀刻線瞄準系統的組成,對其光電顯微刻線成像的原理及刻線圖像信號進行了分析,根據其刻線信號的特點,研究了其高精度的刻線信號自動處理系統,該系統基于FPGA現場可編程電路技術,實現刻線信號的自動門控觸發、自動濾除虛假刻線信號,配合計算機信號自動處理軟件可以實現刻線測量的高精度自動瞄準.最后對2m比長儀的瞄準精度進行了測試實驗,實驗結果表明,測量金屬標準線紋尺時,2m比長儀單次測量刻線瞄準精度優于10nm(1σ).
作者： 葉孝佑[1] 高宏堂[1] 鄒鄰丁[1] 張曉[2] 甘曉川[1] 孫雙花[1] 常海濤[3] 沈雪萍[1] 陳黎云[1]
作者單位：
中國計量科學研究院,北京,100013
浙江計量科學研究院,浙江,杭州,310013
北京航空航天大學,北京,100191
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