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計(jì)量論壇

標(biāo)題: 維鉻原子沉積納米光柵樣板——課題驗(yàn)收會(huì) [打印本頁(yè)]

作者: 新聞專員 時(shí)間: 2010-11-11 07:19
標(biāo)題: 維鉻原子沉積納米光柵樣板——課題驗(yàn)收會(huì)
由中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院、同濟(jì)大學(xué)和國(guó)防科技大學(xué)聯(lián)合組成的研究小組，經(jīng)過(guò)3年的科技攻關(guān)，在國(guó)內(nèi)首次成功研制出一維納米尺度光柵標(biāo)準(zhǔn)樣板。11月2日，該課題通過(guò)了國(guó)家質(zhì)檢總局科技司組織的驗(yàn)收鑒定。

(, 下載次數(shù): 19)

圖為該課題驗(yàn)收會(huì)現(xiàn)場(chǎng)

   近年來(lái)，我國(guó)納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速。與此同時(shí)，納米產(chǎn)業(yè)對(duì)計(jì)量基標(biāo)準(zhǔn)的需求也日益突顯。我國(guó)每年進(jìn)口的近萬(wàn)臺(tái)納米測(cè)量?jī)x器無(wú)法進(jìn)行質(zhì)量檢測(cè)，不得不依靠國(guó)外樣板進(jìn)行校準(zhǔn)。即便如此，我國(guó)納米產(chǎn)業(yè)量值不一的狀況并未從根本上得到解決。據(jù)了解，由于溯源渠道不同，同在無(wú)錫的兩家大型集成電路企業(yè)的線寬量值竟然相差10%。量值溯源問(wèn)題已嚴(yán)重阻礙了我國(guó)納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，對(duì)國(guó)民經(jīng)濟(jì)造成了很大損失。
   為解決上述問(wèn)題，以中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院電學(xué)量子所長(zhǎng)度量子基準(zhǔn)研究室為主導(dǎo)的科研小組在調(diào)研基礎(chǔ)上，于2006年立項(xiàng)承擔(dān)了“十一五”國(guó)家科技支撐計(jì)劃課題——“冷原子納米尺度計(jì)量基準(zhǔn)關(guān)鍵技術(shù)研究”。
   經(jīng)過(guò)3年的努力，研究小組掌握了鉻原子沉積納米光柵理論和技術(shù)，自主建立了高真空度原子沉積實(shí)驗(yàn)裝置，成功研制出柵距為（213.1±0.5）nm的一維納米尺度光柵標(biāo)準(zhǔn)樣板，并通過(guò)了專業(yè)機(jī)構(gòu)的計(jì)量驗(yàn)證。通過(guò)本課題的實(shí)施，中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院在昌平院區(qū)建立了原子沉積納米光柵實(shí)驗(yàn)基地，培養(yǎng)和鍛煉出一支具有高素質(zhì)、創(chuàng)新性和專業(yè)化的科研隊(duì)伍。
   一維標(biāo)準(zhǔn)納米光柵樣板是國(guó)際計(jì)量局規(guī)定的5個(gè)納米標(biāo)準(zhǔn)樣板之一。它的成功研制，突破了我國(guó)納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的技術(shù)瓶頸，填補(bǔ)了我國(guó)在納米計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)方面研究的空白，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平。該項(xiàng)成果的取得，使我國(guó)成為少數(shù)幾個(gè)掌握原子光柵沉積技術(shù)的國(guó)家之一，使納米計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)國(guó)產(chǎn)化成為可能，將從根本上解決我國(guó)納米測(cè)量?jī)x器的量值溯源和校準(zhǔn)問(wèn)題，改變我國(guó)納米計(jì)量長(zhǎng)期依賴國(guó)外的現(xiàn)狀，為我國(guó)納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展提供有力的技術(shù)支撐。

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