計量論壇

標題: 請問:標準平晶的平面度如何計算? [打印本頁]

作者: jier1 時間: 2009-12-10 21:50
標題: 請問:標準平晶的平面度如何計算?
送檢的標準平面平晶,直徑150mm,給出的證書平面度數據為:
1-2截面:
+70mm:0; +48mm:-0.18um; 0:-0.12um; -48mm:-0.15um; -70mm:0
3-4截面:
+70mm:0; +48mm:-0.10um; 0:-0.13um; -48mm:-0.13um; -70mm:0

請問大家:標準平晶在96mm范圍內的兩個截面上平面度如何計算?

作者: xqbljc 時間: 2009-12-10 22:43
本帖最后由 xqbljc 于 2009-12-10 22:45 編輯

1-2截面140mm的平面度為F140＝0.18μm（凹，記做－）；
3-4截面140mm的平面度為F140＝0.13μm（凹，記做－）；
1-2截面96mm的平面度為F96＝f0－（f＋48＋f－48）/2＝0.045μm（凸，記做＋）；
3-4截面96mm的平面度為F96＝f0－（f＋48＋f－48）/2＝0.015μm（凹，記做－）。
   注：所有蘭色字均為下標，此標準平面平晶在96mm平面度，在1-2截面和3-4截面兩個截面上凹、凸均有，應該講做工作平晶的標準器已經不合適了，
         JJG28-2000平晶規程在4.2.1.2中講的很清楚：(2/3) d內的平面度應與總偏差方向一致，兩個截面的偏差方向也應一致。
         至于標準平晶在96mm范圍內的兩個截面上平面度計算原理，就是將+70mm和-70mm上的兩端點連線平移并旋轉至+48mm和-48mm兩位置即可。

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