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標題: ASTM F 2113-2001 薄膜電子設備用高純度金屬濺涂靶雜... [打印本頁]
作者: 兌水    時間: 2009-12-6 16:40
標題: ASTM F 2113-2001 薄膜電子設備用高純度金屬濺涂靶雜...
F2113-01e1 Standard Guide for Analysis and Reporting the Impurity Content and Grade of High Purity Metallic Sputtering Targets for Electronic Thin Film Applications

ASTM F 2113-2001.pdf

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