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標題: ASTM F 1238-1995 微電子設備用耐熔硅化物濺射電極 [打印本頁]
作者: 兌水    時間: 2009-11-30 10:11
標題: ASTM F 1238-1995 微電子設備用耐熔硅化物濺射電極
F1238-95(2003) Standard Specification for Refractory Silicide Sputtering Targets for Microelectronic Applications

ASTM F 1238-1995.pdf

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