計量論壇

標題: 平晶平面度如何計算？ [打印本頁]

作者: 柔指輕敲 時間: 2007-8-26 12:59
標題: 平晶平面度如何計算？
JJG28-2000 附錄D，25頁，說
"當被檢工作面小于或等于100mm時，按下式計算平面度 △f=(d↑2/95)*f95 "
這時不需要測量條紋間距a和彎曲量b嗎？如何理解呢？

作者: zssugen 時間: 2007-8-26 17:24
標題: 回復 #1 柔指輕敲的帖子
對高精度的小平面，其平面度誤差通常用平晶測量，測量時，將平晶的工作面置于被測表面上，并稍作傾斜以形成一個很小的空氣楔，根據光波干涉原理，可看到光波干涉帶。當干涉條紋呈現相互平行且為直的明、暗條紋時，則平面度誤差為零。改變平晶與實際表面的夾角，干涉條紋之間的距離將產生變化，空氣楔角增大，干涉條紋變密；反之，干涉條紋變疏。當平晶與被測實際表面形成封閉干涉條紋時，平面度誤差為干涉條紋數乘以光波波長之半，若干涉條紋為不封閉的彎曲形狀，平面度誤差f為干涉條紋彎曲度與相鄰兩條紋間距之比（a/b）,再乘以光波波長之半，即f=a/b×(λ/2)。

[ 本帖最后由 duomeiti 于 2007-8-26 18:47 編輯 ]

作者: 深圳漁民 時間: 2007-8-27 10:47
標題: 回復 #1 柔指輕敲的帖子
你沒有仔細看規程。這里說的是"當被檢工作平晶直徑于或等于100mm時，應按下式計算標準平晶在該區域的平面度”。目前各單位用的等厚干涉儀多是北京計量儀器廠出的，標準平晶直徑150mm，檢定證書會給兩個平面度值，全范圍的和D96（也就是中心2/3直徑）的平面度。當被檢平晶直徑等于100mm時，應該用D96平面度值，當被檢平晶直徑小于100mm時，要按規程D.2公式計算標準平晶在該區域的平面度，實際就是計算修整量。

作者: 深白色 時間: 2007-9-4 11:26
標題: 回復 #1 柔指輕敲的帖子
還有一點需要注意，就是規程上的公式是有印刷錯誤

作者: 九江風云 時間: 2007-9-14 19:11
估算出來準確嗎？不是太好理解。

作者: gj3711 時間: 2007-9-15 00:12
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