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計量論壇

標(biāo)題: 平晶平面度如何計算？ [打印本頁]
作者: 柔指輕敲    時間: 2007-8-26 12:59
標(biāo)題: 平晶平面度如何計算？
JJG28-2000 附錄D，25頁，說
"當(dāng)被檢工作面小于或等于100mm時，按下式計算平面度  △f=(d↑2/95)*f95  "
這時不需要測量條紋間距a和彎曲量b嗎？如何理解呢？
作者: zssugen    時間: 2007-8-26 17:24
標(biāo)題: 回復(fù) #1 柔指輕敲 的帖子
      對高精度的小平面，其平面度誤差通常用平晶測量，測量時，將平晶的工作面置于被測表面上，并稍作傾斜以形成一個很小的空氣楔，根據(jù)光波干涉原理，可看到光波干涉帶。當(dāng)干涉條紋呈現(xiàn)相互平行且為直的明、暗條紋時，則平面度誤差為零。改變平晶與實(shí)際表面的夾角，干涉條紋之間的距離將產(chǎn)生變化，空氣楔角增大，干涉條紋變密；反之，干涉條紋變疏。當(dāng)平晶與被測實(shí)際表面形成封閉干涉條紋時，平面度誤差為干涉條紋數(shù)乘以光波波長之半，若干涉條紋為不封閉的彎曲形狀，平面度誤差f為干涉條紋彎曲度與相鄰兩條紋間距之比（a/b）,再乘以光波波長之半，即f=a/b×(λ/2)。

[ 本帖最后由 duomeiti 于 2007-8-26 18:47 編輯 ]
作者: 深圳漁民    時間: 2007-8-27 10:47
標(biāo)題: 回復(fù) #1 柔指輕敲 的帖子
你沒有仔細(xì)看規(guī)程。這里說的是"當(dāng)被檢工作平晶直徑于或等于100mm時，應(yīng)按下式計算標(biāo)準(zhǔn)平晶在該區(qū)域的平面度”。目前各單位用的等厚干涉儀多是北京計量儀器廠出的，標(biāo)準(zhǔn)平晶直徑150mm，檢定證書會給兩個平面度值，全范圍的和D96（也就是中心2/3直徑）的平面度。當(dāng)被檢平晶直徑等于100mm時，應(yīng)該用D96平面度值，當(dāng)被檢平晶直徑小于100mm時，要按規(guī)程D.2公式計算標(biāo)準(zhǔn)平晶在該區(qū)域的平面度，實(shí)際就是計算修整量。
作者: 深白色    時間: 2007-9-4 11:26
標(biāo)題: 回復(fù) #1 柔指輕敲 的帖子
還有一點(diǎn)需要注意，就是規(guī)程上的公式是有印刷錯誤
作者: 九江風(fēng)云    時間: 2007-9-14 19:11
估算出來準(zhǔn)確嗎？不是太好理解。
作者: gj3711    時間: 2007-9-15 00:12
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